刀具微結(jié)構(gòu)加工,三維微細(xì)尺寸精確加工
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刀具微結(jié)構(gòu)精密刻蝕,雪花槽激光精密加工
硅散熱片激光刻蝕:10微米槽,10微米間距
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生物芯片蝕刻最小特征:線寬10μm,線間距10μm
微米級金屬激光劃槽蝕刻
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