材料:紫銅
厚度:50um
孔徑:400um
采用費米激光開發的微孔加工技術,保證孔的圓度,精度,無毛刺,熱效應小。
激光精密微孔加工相比電火花微細孔加工、機械鉆孔、化學腐蝕、機械沖孔等等,具有以下優點:
高速(最高每秒4000孔)
高精度(<3μm)
無材料限制(金屬、陶瓷、硅片、有機物等等)
孔型可編程(最小5μm、特定錐度孔)
分布可定制(加工幅面300mm*300mm),無需模具和掩膜
無污染無耗材
直接加工
費米激光提供的激光微孔打孔設備,最小加工微孔孔徑(線寬)5μm,整體加工精度±4μm,局部特征精度<3μm,加工幅面300*300mm,用于金屬、陶瓷、硅片、玻璃、有機物等材料精密盲孔、通孔、開槽、切割加工等。
主要用于:半導體柔性電路板切割、ITO膜層蝕刻、微電子器件制造、印刷模板制備、生物芯片制備、精密模具成型、精密儀器儀表