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玻璃微孔加工

材料:玻璃

厚度:5mm

孔徑:0.8mm與1.1mm  出入空

         4mm定位盲孔

          5mm沉孔

應用:生物反應測試



激光精密微孔加工相比電火花微細孔加工、機械鉆孔、化學腐蝕、機械沖孔等等,具有以下優點:

高速(最高每秒4000孔)

高精度(<3μm

無材料限制(金屬、陶瓷、硅片、有機物等等)

孔型可編程(最小5μm、特定錐度孔)

分布可定制(加工幅面300mm*300mm),無需模具和掩膜

無污染無耗材

直接加工

 

費米激光提供的激光微小孔加工設備,最小加工微孔孔徑(線寬)5μm,整體加工精度最高±2μm,局部特征精度<2μm,加工幅面300*300mm,用于金屬、陶瓷、硅片、玻璃、有機物等材料精密盲孔、通孔、開槽、切割加工等。

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