材料     孔徑           厚度

銅        0.25mm      0.05mm

激光精密微孔加工相比電火花微細孔加工、機械鉆孔、化學腐蝕、機械沖孔等等，具有以下優點：

高速（最高每秒4000孔）

高精度（＜3μm）

無材料限制（金屬、陶瓷、硅片、有機物等等）

孔型可編程（最小入口5μm出口1~2μm、特定錐度孔）

分布可定制（加工幅面300mm*300mm)，無需模具和掩膜

無污染無耗材

直接加工

費米激光提供的激光微孔打孔設備，最小加工微孔孔徑（線寬）5μm，整體加工精度±4μm，局部特征精度＜3μm，加工幅面300*300mm，用于金屬、陶瓷、硅片、玻璃、有機物等材料精密盲孔、通孔、開槽、切割加工等。