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紫外皮秒激光超精細加工，最小線寬（孔徑）4μm，加工幅面500*400mm，可定制，精度±3μm。

1. 采用進口高功率高穩定紫外皮秒激光器直接燒蝕氣化材料，無熱影響區，最小4μm加工光斑，亞微米級粗糙度和直線度。

2. 通過精密振鏡高速高精度控制光束偏移，實現小幅面高速精細加工，加工精度優于±3μm，局部尺寸精度優于2μm。

3. 通過高精度直線電機驅動平臺平移實現大幅面精密加工，重復精度高達±1μm。

4. Z軸電動可調，以適應不同厚度材料，滿足立體結構精細加工要求。

5. 旁軸高分辨率工業網口相機用于振鏡全幅面誤差校正，保證系統長期使用穩定性和精度；同時，用于高精度對焦，刻蝕深度測量以及加工尺寸測量。

6. 支持工件高精度定位加工，自帶偏移補償功能。

7. 支持二維、三維等各種圖形亞微米級分辨率加工處理。

8. 系統采用大理石臺面，提升系統的綜合穩定性，所有機械部件精心選配以保證長期精度。

9. 可用于加工玻璃、有機物、金屬、陶瓷等基本所有固體材料，實現蝕刻、盲孔、通孔、開槽、切割等。

應用范圍：

生物芯片制備、半導體柔性電路板切割、ITO膜層蝕刻、微電子器件制造、印刷模板制備、精密微型模具成型

參數：