飛秒激光微納加工
三維銑削、精密切割、超精細孔加工、超大幅面微細結構加工
應用范圍：
醫療器械、微電子器件制造、精密微型模具成型、精細掩膜制作
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1. 采用高功率高穩定飛秒紫外激光直接燒蝕氣化材料，微米級加工線寬，無熱影響區。
2. 通過精密振鏡高速高精度控制光束偏移，實現小幅面高速精細加工，加工精度優于±3μm，局部尺寸精度優于2μm。
3. 通過高精度直線電機驅動平臺平移實現大幅面精密加工，重復精度高達±1μm。
4. Z軸電動可調，以適應不同厚度材料，滿足立體結構精細加工要求。
5. 適配精密旋轉軸，可對薄壁管進行精細結構成型。
6. 高倍率旁軸高分辨率工業網口相機用于刻蝕深度測量以及加工尺寸測量。
7. 低倍率旁軸高分辨率工業相機，用于振鏡全幅面誤差校正，保證系統長期使用穩定性和精度；同時，用于高精度定位和對焦，對工件高精度定位加工，補償夾具、裝夾、工件尺寸誤差。
8. 最大支持256個圖層參數加工，支持dxf、AI、PNG等矢量和圖片文件加工。
9. 采用大理石臺面，提升系統的綜合穩定性，所有機械部件精心選配以保證長期精度。
10. 可用于加工玻璃、有機物、金屬、陶瓷等基本所有固體材料，實現精細蝕刻、盲孔、通孔、開槽、切割等。
11. 設備使用方便，功耗低、免維護、無耗材，工業化24小時連續運行。
應用范圍：
醫療器械、微電子器件制造、精密微型模具成型、精細掩膜制作
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類別 |
參數 |
FM-UVFM-10A |
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激光器 |
波長 |
355nm |
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功率 |
＞10W@500kHz |
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調制頻率 |
1~1000kHz |
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脈寬 |
<500fs@100kHz |
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光束質量M2 |
＜1.3 |
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振鏡 |
掃描范圍 |
＜50*50mm |
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重復精度 |
＜1μm |
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定位精度 |
≤±3μm |
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XY工作臺 |
行程 |
500*400mm |
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定位分辨率 |
0.1μm |
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重復精度 |
≤±1μm |
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定位精度 |
≤±3μm |
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加速度 |
≤1G |
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速度 |
≤200mm/s |
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Z軸 |
行程 |
150mm |
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重復精度 |
≤±3μm |
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定位精度 |
≤±5μm |
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R軸 |
跳動 |
<0.01mm |
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夾持管徑 |
最小0.8mm |
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CCD監測定位 |
相機 |
500萬像素 |
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光學倍率 |
10X |
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區域拼接 |
精度 |
±3μm |
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加工能力 |
最小線寬 |
7μm(或者4μm) |
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系統加工精度 |
±4μm |
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重復精度 |
≤±1μm |
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加工材料 |
玻璃、有機物、金屬、陶瓷、金剛石等 |
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冷卻 |
水冷（2000W制冷量） |
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吸塵 |
三重粉塵凈化 |
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電力 |
220V 50~60Hz |
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功耗 |
≤3000W |
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尺寸 |
1700*1300*1950mm |
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重量 |
2000Kg |
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【注】恒溫（25±0.5℃），預熱30分鐘之后獲得
